NanoCalc 薄膜反射测量系统
薄膜的光学特性主要有反射和干涉.NanoCalc薄膜反射测量系统可以用来进行10nm~250μm的膜厚分析测量，对单层膜的分辨率为0.1nm。根据测量软件的不同，可以分析单层或多层膜厚。
产品特点
-
可分析单层或多层薄膜
-
分辨率达0.1nm
-
适合于在线监测
操作理论
最常用的两种测量薄膜的特性的方法为光学反射和投射测量、椭圆光度法测量。NanoCalc利用反射原理进行膜厚测量。
查找n和k值
可以进行多达三层的薄膜测量，薄膜和基体测量可以是金属、电介质、无定形材料或硅晶等。NanoCalc软件包含了大多数材料的n和k值数据库，用户也可以自己添加和编辑。
应用
NanoCalc薄膜反射材料系统适合于在线膜厚和去除率测量，包括氧化层、中氮化硅薄膜、感光胶片及其它类型的薄膜。NanoCalc也可测量在钢、铝、铜、陶瓷、塑料等物质上的抗反射涂层、抗磨涂层等。
NanoCalc系统
|
NC-UV-VIS-NIR
|
|
重量：
|
250-1100 nm
|
|
厚度：
|
10 nm-70 μm
|
|
光源：
|
氘卤灯
|
|
NC-UV-VIS
|
|
重量：
|
250-850 nm
|
|
厚度：
|
10 nm-20 μm
|
|
光源：
|
氘卤灯
|
|
NC-VIS-NIR
|
|
重量：
|
400-1100 nm
|
|
厚度：
|
20nm-100μm (可选1μm-250μm)
|
|
光源：
|
卤灯
|
|
NC-VIS
|
|
重量：
|
400-850 nm
|
|
厚度：
|
50 nm-20μm
|
|
光源：
|
卤灯
|
|
NC-NIR
|
|
重量：
|
650-1100 nm
|
|
厚度：
|
70 nm-70μm
|
|
光源：
|
卤灯
|
|
NC-NIR-HR
|
|
重量：
|
650-1100nm
|
|
厚度：
|
70 nm-70μm
|
|
光源：
|
卤灯
|
|
NC-512-NIR
|
|
重量：
|
900-1700 nm
|
|
厚度：
|
50 nm-200μm
|
|
光源：
|
高亮度卤灯
|
NanoCalc规格
|
入射角：
|
90°
|
|
层数：
|
3层以下
|
|
需要进行参考值测量：
|
是
|
|
透明材料：
|
是
|
|
传输模式：
|
是
|
|
粗糙材料：
|
是
|
|
测量速度：
|
100ms - 1s
|
|
在线监测：
|
可以
|
|
公差（高度）：
|
参考值测量或准直(74-UV)
|
|
公差（角度）：
|
参考值测量
|
|
微黑子选项：
|
配显微镜
|
|
显示选项：
|
配显微镜
|
|
定位选项：
|
6"和12" XYZ 定位台
|
|
真空：
|
可以
|
|
