大行程纳米定位平台采用了最高精度的压电陶瓷驱动技术和高刚性低成本的设计技术。
特点：
● ESC系列平台可被用于常温和大气压环境，有些型号还可用于超高真空环境。
● ESC系列平台采用了十字交叉滚柱导轨结构，其承载能力可高达数公斤，其俯仰，方位和转动角度偏差小于0.1mrad。
● 同时，其最大行程可达50mm,单步进给量可小至50nm。另外，可选配的用于闭环控制的传感器的分辨率达1nm。这个系列平台备有多种形式，尺寸和行程。并可直接互相组合成多轴平台。
技术规格参数：
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名称
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X轴平台
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X轴平台
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X轴平台
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摆动平台
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摆动平台
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转动平台
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转动平台
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型号
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ECS3030
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ECS3080
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ECS5050
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ECGt5050
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ECGp5050
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ECR3030
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ECR5050
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闭环控制特性
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分辨率
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1nm
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1nm
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1nm
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0.000001°
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0.000001°
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0.00001°
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－
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重复定位精度
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50nm
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50nm
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50nm
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±0.00005°
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±0.00005°
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±0.0005°
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－
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精度
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＜0.01%
of travel range
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＜0.01%
of travel range
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＜0.01%
of travel range
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≒0.001°
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≒0.001°
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≒0.002°
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－
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开环控制特性
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最小步进量
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50nm
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50nm
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50nm
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0.0001°
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0.0001°
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0.0004°
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0.0002°
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精密定位范围
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1.6μm
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1.6μm
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1.6μm
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0.0014°
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0.0011°
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0.012°
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0.006°
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行程
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20mm
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50mm
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30mm
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10°
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10°
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360°
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360°
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台面尺寸〔mm〕
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30×30
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30×80
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50×50
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50×50
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50×50
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30×30
|
50×50
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导轨形式
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十字交叉滚柱
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十字交叉滚柱
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十字交叉滚柱
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十字交叉滚柱
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十字交叉滚柱
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球轴承
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球轴承
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自重〔kg〕
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铝合金型
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0.029
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0.078
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0.070
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0.137
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0.137
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0.28
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0.1
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不锈钢型
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0.051
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0.147
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0.247
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0.247
|
0.247
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0.66
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0.215
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最大速度
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4.5mm/sec
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4.5mm/sec
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4.5mm/sec
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≒1°/sec
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≒1°/sec
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≒10°/sec
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≒5°/sec
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承载能力（水平安装时）
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9kg
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24kg
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15kg
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1kg
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1kg
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2kg
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2kg
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注：如选购了内置传感器的型号，可实现闭环控制。下订单时，请在上面的标准型号末尾加注“/NUM”。
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