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中空型XY压电陶瓷平台

采用了独特的数字位移传感器,实现了高精度·高刚性·高速度和理论分辨率达1nm的压电陶瓷平台。

 

特点:

 驱动机构为压电陶瓷,位置反馈采用数字位移传感器,具有50×50mm开口部的超高精密定位的中空型XY平台,适用于在显微镜下微动。

● 推荐使用控制器FINE-503驱动。此控制器具有RS232CGP-IBUSB接口。选购测量·控制软件SGEMCSESGTERMESGSFSX等, 可方便地构建位置控制系统。

● 是各种显微镜,精密测量装置,半导体检测装置,高精度曝光,扫描型干涉仪,图像处理装置,或相关生物用装置的最佳选择。

 

技术规格参数:

型号

SFS-120XY(WA)

行程

100μm±10

台面尺寸〔mm

120×120

驱动机构

压电陶瓷

自重〔kg

1.2

理论分辨率(开环时)〔nm

1

分辨率(闭环时)〔nm

10

直线性〔%〕

垂直度(水平方向)〔μm

1以下

重复定位精度〔μm

0.1以下

承载能力〔N

19.62.0kgf

微小位移传感器

数字位移传感器

适用电缆

FINE-CA-3:压电陶瓷用

DS1-CA-3:数字位移传感器用

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