采用了独特的数字位移传感器，实现了高精度·高刚性·高速度和理论分辨率达1nm的压电陶瓷平台。
特点：
● 驱动机构为压电陶瓷，位置反馈采用数字位移传感器，具有50×50mm开口部的超高精密定位的中空型XY平台，适用于在显微镜下微动。
● 推荐使用控制器FINE-503驱动。此控制器具有RS232C，GP-IB，USB接口。选购测量·控制软件SGEMCSE，SGTERME或SGSFSX等， 可方便地构建位置控制系统。
● 是各种显微镜，精密测量装置，半导体检测装置，高精度曝光，扫描型干涉仪，图像处理装置，或相关生物用装置的最佳选择。
技术规格参数：
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型号
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 SFS-120XY(WA)
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行程
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100μm±10％
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台面尺寸〔mm〕
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120×120
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驱动机构
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压电陶瓷
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自重〔kg〕
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1.2
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理论分辨率（开环时）〔nm〕
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1
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分辨率（闭环时）〔nm〕
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10
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直线性〔％〕
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－
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垂直度（水平方向）〔μm〕
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1以下
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重复定位精度〔μm〕
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0.1以下
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承载能力〔N〕
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19.6（2.0kgf）
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微小位移传感器
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数字位移传感器
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适用电缆
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FINE-CA-3：压电陶瓷用
DS1-CA-3：数字位移传感器用
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