采用了独特的数字位移传感器，实现了高精度·高刚性·高速度和理论分辨率达1nm的压电陶瓷平台。
特点：
● 采用了独特的数字位移传感器，可实现高精度·高刚性·高速度的压电陶瓷平台。
● 采用压电陶瓷作为驱动机构，开环控制时的行程为90μm〜100μm，理论分辨率达1nm。
● 位置检测采用了数字位移传感器（频率→数字变换方式的微小位移传感器），闭环控制时的显示分辨率为10nm。
● 使用FINE系列控制器，可实现高速定位。
● 重复驱动SFS-H（直动）系列平台，可达10〜15Hz的频率。若使用FINE-01γ的模拟信号驱动时，可达25Hz。
技术参数：
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型号
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 SFS-H40X(CL)
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 SFS-H40Z(CL)
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 SFS-H60X(CL)
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SFS-H60XY(CL)
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行程
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90μm±15％
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100μm±15％
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100μm±15％
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100μm±15％
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台面尺寸〔mm〕
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40×40
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40×40
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60×60
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60×60
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驱动机构
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压电陶瓷
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压电陶瓷
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压电陶瓷
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压电陶瓷
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自重〔kg〕
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0.28
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0.28
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0.4
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0.43
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理论分辨率（开环时）〔nm〕
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1
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1
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1
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1
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分辨率（闭环时）〔nm〕
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10
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10
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10
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10
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直线性〔％〕
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0.3以下
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0.3以下
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0.3以下
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0.3以下
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垂直度（水平方向）〔μm〕
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1
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1
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1
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1
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重复定位精度〔μm〕
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0.1以下
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0.1以下
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0.1以下
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0.1以下
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承载能力〔N〕
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9.8（1.0kgf）
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6.7（0.7kgf）
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19.6（2.0kgf）
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14.7（1.5kgf）
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微小位移传感器
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数字位移传感器
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数字位移传感器
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数字位移传感器
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数字位移传感器
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适用电缆
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电缆（2m）附属
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电缆（2m）附属
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FINE-CA-3：压电陶瓷平台用
DS1-CA-3：数字位移传感器用
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FINE-CA-3：压电陶瓷平台用
DS1-CA-3：数字位移传感器用
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SFS-H60XYZ(CL) 和SFS-H60Z(CL)精密压电陶瓷平台技术参数：
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行程
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100μm±15％
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100μm±15％
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台面尺寸
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60×60mm
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60×60mm
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驱动机构
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压电陶瓷
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压电陶瓷
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自重
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0.63kg
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0.33kg
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理论分辨率（开环时）
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1nm
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1nm
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分辨率（闭环时）
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10nm
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10nm
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直线性误差
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＜0.5％
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＜0.3％
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垂直度（水平方向）
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1μm
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1μm
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重复定位精度
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＜0.15μm
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＜0.1μm
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承载能力
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9.8N（1.0kgf）
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9.8N（1.0kgf）
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微小位移传感器
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数字位移传感器
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数字位移传感器
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适用电缆
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FINE-CA-3：压电陶瓷平台用
DS1-CA-3：数字位移传感器用
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FINE-CA-3：压电陶瓷平台用
DS1-CA-3：数字位移传感器用
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