分别为1轴或3轴压电陶瓷平台用控制器，并内置驱动器。

特点：

● 具有数字位移传感器的输入端口，可校正电压陶瓷特有的磁滞回归特性，实现了闭环控制。

● FINE-503(CL)可通过RS232C，GP-IB或USB接口连接计算机， 通过计算机发送简单的指令就可以控制平台的定位。

● FINE-01γ不仅可以通过RS232C或USB接口接受计算机的控制，还可以直接输入一个模拟控制信号实现同步高速控制。

主要功能：

性能指标：