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压电陶瓷式物镜驱动器︱压电陶瓷物镜驱动器

驱动机构为压电陶瓷,位置反馈采用数字位移传感器,可以用于显微镜的物镜驱动。

 

特点:

 尺寸小,可进行高速高分辨率定位。

 开环控制时的行程为100μm
● 考虑到显微镜的种类,我们备有2种用于正置型和1种用于倒置型显微镜的标准产品。
● 和其它压电陶瓷平台类似,可用控制器(FINE-01γ/503(CL))实现驱动。它们具有RS232C

  GP-IB(仅FINE-503(CL)),USB接口,配合计量·控制软件SGEMCSESGTERMESGSFSX,可简单地构建控制需要的系统。

 

 备有多种螺纹适配器,可以安装不同螺纹尺寸的物镜。

● SFS-OBL-2是采用了金属封装的压电陶瓷驱动机构,和SFS-OBL-1相比,具有更好的抵抗湿度环境的性能。

 

技术规格参数:

型号

SFS-OBL-1

SFS-OBL-2

SFAI-OBL-1R

行程

100μm±15

100μm±15

100μm±15

最大可安装物镜直径〔mm

外径φ39以下

外径φ39以下

外径φ39以下

外形尺寸〔mm

W75.5×H45×D40

W75.5×H55×D40

W60.8×H30×D40

驱动方式

压电陶瓷

压电陶瓷

压电陶瓷

自重〔kg

0.15

0.24

0.15

理论分辨率(开环时)〔nm

1

1

0.8

分辨率(闭环时)〔nm

10

10

10

直线度(Xy Xz Yx Yz)〔μm

1μm

1μm

0.2μm

重复定位精度〔μm

0.1μm

0.1μm

0.1μm

承载能力〔N

4.90.5kgf

微小位移传感器

数字位移传感器

数字位移传感器

数字位移传感器

螺纹适配器

OBL-ADP-**

OBL-ADP-**

OBL-ADP3-**

附属件

电缆(2m

电缆(2m

电缆(2m),专用安装支柱4

 

物镜用螺纹适配器:

型号

安装螺纹尺寸

A

B

SFS-OBL用适配器

 

 

 

OBL-ADP-M20.32A

显微镜侧:M20.32

M20.32 P=0.706W0.8×1/36

15mm

OBL-ADP-M20.32B

物镜侧:M20.32

M20.32 P=0.706W0.8×1/36

OBL-ADP-M25.0A

显微镜侧:M25.0

M25.0 P=0.75

20mm

OBL-ADP-M25.0B

物镜侧:M25.0

M25.0 P=0.75

OBL-ADP-M26.0A

显微镜侧:M26.0

M26.0 P=0.706W26.0×1/36

21mm

OBL-ADP-M26.0B

物镜侧:M26.0

M26.0 P=0.706W26.0×1/36

SFAI-OBL用适配器

 

 

 

OBL-ADP3-M20.32A

显微镜侧:M20.32

M20.32 P=0.706W0.8×1/36

15mm

OBL-ADP3-M20.32B

物镜侧:M20.32

M20.32 P=0.706W0.8×1/36

OBL-ADP3-M25.0A

显微镜侧:M25.0

M25.0 P=0.75

20mm

OBL-ADP3-M25.0B

物镜侧:M25.0

M25.0 P=0.75

OBL-ADP3-M26.0A

显微镜侧:M26.0

M26.0 P=0.706W26.0×1/36

21mm

OBL-ADP3-M26.0B

物镜侧:M26.0

M26.0 P=0.706W26.0×1/36

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