驱动机构为压电陶瓷，位置反馈采用数字位移传感器，可以用于显微镜的物镜驱动。
特点：
● 尺寸小，可进行高速高分辨率定位。
● 开环控制时的行程为100μm。
● 考虑到显微镜的种类，我们备有2种用于正置型和1种用于倒置型显微镜的标准产品。
● 和其它压电陶瓷平台类似，可用控制器（FINE-01γ/503(CL)）实现驱动。它们具有RS232C，
GP-IB（仅FINE-503(CL)），USB接口，配合计量·控制软件SGEMCSE，SGTERME或SGSFSX，可简单地构建控制需要的系统。
● 备有多种螺纹适配器，可以安装不同螺纹尺寸的物镜。
● SFS-OBL-2是采用了金属封装的压电陶瓷驱动机构，和SFS-OBL-1相比，具有更好的抵抗湿度环境的性能。
技术规格参数：
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型号
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 SFS-OBL-1
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SFS-OBL-2
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SFAI-OBL-1R
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行程
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100μm±15％
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100μm±15％
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100μm±15％
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最大可安装物镜直径〔mm〕
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外径φ39以下
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外径φ39以下
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外径φ39以下
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外形尺寸〔mm〕
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（W）75.5×（H）45×（D）40
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（W）75.5×（H）55×（D）40
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（W）60.8×（H）30×（D）40
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驱动方式
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压电陶瓷
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压电陶瓷
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压电陶瓷
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自重〔kg〕
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0.15
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0.24
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0.15
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理论分辨率（开环时）〔nm〕
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1
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1
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约0.8
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分辨率（闭环时）〔nm〕
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10
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10
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10
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直线度（Xy Xz Yx Yz）〔μm〕
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＜1μm
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＜1μm
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＜0.2μm
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重复定位精度〔μm〕
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＜0.1μm
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＜0.1μm
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＜0.1μm
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承载能力〔N〕
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－
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－
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4.9（0.5kgf）
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微小位移传感器
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数字位移传感器
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数字位移传感器
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数字位移传感器
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螺纹适配器
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OBL-ADP-＊＊
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OBL-ADP-＊＊
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OBL-ADP3-＊＊
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附属件
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电缆（2m）
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电缆（2m）
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电缆（2m），专用安装支柱4个
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物镜用螺纹适配器：
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