CM-1高精密隔振平台是紧凑型高负载、低频率负刚度隔振平台;和Minus K公司所有的精密隔振平台一样,它们都是被动式的,不需要空气动力和电力。几个CM-1高精密隔振平台还可以组成精密隔振平台系统支撑大负载,而其自身却占用很少的空间。
CM-1高精密隔振平台可以被放置在底座上,使它们达到一个适当的高度来更新你现有的空气平台,使你能够保留你现有的台面并达到好得多的隔振效果。
CM-1高精密隔振平台有几个负载范围来匹配振动敏感的仪器,像SPM、AFM、STM等,以及显微硬度测试仪、轮廓仪、干涉仪、电子显微镜或其它成像系统。如果需要,可以定制CM-1高精密隔振平台,达到用户的特殊需求,例如:不同的水平频率和垂直频率、阻尼等。
CM-1高精密隔振平台系列也可用于洁净室且真空相容。
CM-1紧凑型低频率高精密隔振平台负载重量是50到1050磅(476.3 kg),0.5Hz的垂直和水平固有频率。自重只有11.8kg的高精密隔振平台却能够承受1050磅(476.3 kg)的重量!
特点:
∙ 隔离效果比高性能空气平台系统高出10-100倍
∙ 不需要空气动力和电力
∙ 使用方便
∙ 无磨损
∙ 无需维修
性能:
∙ 在整个负载范围达到0.5 Hz或更低的垂直固有频率。
∙ 水平固有频率取决于负载。在标称负载或接近标称负载,可达到0.5 Hz或更低的固有频率。
应用:
SPM、AFM、SEM、TEM、STM(扫描隧道显微镜)、、NSOM(近场扫描光学显微镜系统)、STEM(扫描透射电镜)、光学干涉仪、光学轮廓仪、共聚焦激光扫描显微镜、晶片测试、传感器标定、半导体加工,微电子学和MEMS制备、电信,航空航天工程、细胞注射、膜片钳、微操纵器、 生物学和神经系统科学、 生理学和生物物理及医学研究领域的敏感设备、显微硬度测试仪,纳米硬度计压头产品、纳米压痕,音频复制等方面。
规格参数:
重量: 约26 lb (11.8 kg)
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尺寸: 7.875" 宽 x 7.875" 深 x 8.5" 高 (200mm宽 x 200mm深 x 216mm高)
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近似负载范围:
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型号
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负载范围*
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200CM-1
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50 - 200 lb (22.7 - 90.7 kg)
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500CM-1
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200 - 500 lb (90.7 - 226.8 kg)
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800CM-1
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500 - 800 lb (226.8 - 362.9 kg)
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1000CM-1
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750 - 1050 lb (340.2 - 476.3 kg)
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*可定制用户所需的负载范围
CM-1紧凑型高精密隔振平台应用案例:
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