BM-4精密隔振平台是美国Minus K公司的负刚度振动隔离专利技术产品。这款高性价比的精密隔振平台可达到0.5Hz的垂直固有频率和水平固有频率,并可用于洁净室且真空相容。
特点:
∙ 隔离效果比高性能空气平台系统高出10-100倍
∙ 无需空气动力和电力
∙ 使用方便
∙ 无磨损
∙ 无需维修
性能:
∙ 在整个负载范围内均能达到0.5 Hz或更低的垂直固有频率。
∙ 水平固有频率取决于负载。在标称负载或接近标称负载,可达到0.5 Hz或更低。
应用:
SPM、AFM、SEM、TEM、STM(扫描隧道显微镜)、、NSOM(近场扫描光学显微镜系统)、STEM(扫描透射电镜)、光学干涉仪、光学轮廓仪、共聚焦激光扫描显微镜、晶片测试、传感器标定、半导体加工,微电子学和MEMS制备、电信,航空航天工程、细胞注射、膜片钳、微操纵器、 生物学和神经系统科学、 生理学和生物物理及医学研究领域的敏感设备、显微硬度测试仪,纳米硬度计压头产品、纳米压痕,音频复制等方面。
规格参数:
重量:约60磅(27kg)
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尺寸:16.8" 宽 x 16.8" 深 x 8.5" 高 (427mm宽 x 427mm深 x 216mm高)
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近似负载重量范围:
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型号
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负载范围
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25BM-4
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0 - 25 lb (0 - 11 kg)
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50BM-4
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20 - 55 lb (9 - 25 kg)
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100BM-4
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50 - 105 lb (23 - 48 kg)
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150BM-4
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90 - 155 lb (41 - 70 kg)
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200BM-4
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145 - 205 lb (63 - 93 kg)
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注:可定制用户所需的负载范围
BM-4高精密隔振平台应用案例:
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