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对于半导体和薄膜处理等真空箱应用,海洋光学提供了一系列完善的光纤真空贯通附件。 这些真空贯通管包含应用广泛的、带有O型圈的螺栓式贯通管,以及安装在CF和ISO KF工业级法兰上的贯通管。 所有管件都带有处于真空侧以及空气侧的SMA 905公连接器,用于同光纤进行耦合(需另购)。
O型圈螺栓式贯通管非常适合NE毫安外壳、手套箱以及中/高压应用,而CF和ISO KF法兰则适于向现有的真空箱接口上进行安装。
产品详情
为尽量减少释气,对于真空室低压侧,建议采用带金属护套的光纤组件
规格
工程规格
O型圈贯穿管
CF贯穿管
ISO KF贯穿管
构造:
在一颗带有嵌入O型圈的螺栓内安装有新型金属/玻璃密封,并配备螺母和垫圈
手术级不锈钢光纤贯通管被焊接到行业标准法兰中
真空等级:
10-10Torr
10-10 Torr
最高温度:
350 °C
300 °C