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Beam'R2狭缝扫描式光束质量分析仪

产品型号:Beam'R2

产品ID:S-BR2-Si

品牌名称:美国Dataray

 

狭缝扫描式光束质量分析仪系统提供高分辨率,但是要求光束小于1μm且价格要高于相机型光束分析仪。尽管不能给出光束图像,但是在很多情况下XY或XYZ就可以满足应用要求。

 

产品特点:

 

· 190至1150 nm,Si探测器

· 650至1800 nm,InGaAs探测器

· 1000至2300或2500 nm,InGaAs(扩展)探测器

· 端口供电,USB2.0灵活的3米电缆没有电源砖

· 0.1μm采样和分辨率

· 线性和对数X-Y轮廓

· 轮廓缩放和狭缝宽度补偿

· 经济又准确

· M2选项 – 光束传播分析、发散、聚焦

 

产品选择:

 

 

Beam’R2

BeamMap2

主要特征

集成X和Y轮廓

实时 XYZθΦ 测量和焦点查找

实时指向、发散和M2 测量

接口

USB 2.0 Port-powered

CW or Pulsed?

CW,脉冲最小 PRR(Si 探测器)≈ [500/(激光直径μm] kHz

波长

Si:190-1150 nm

InGaAs:650-1800 nm

Si+InGaAs:190-1800nm

Si+InGaAs,extended:190-2500nm

X-Y-Z Profiles, plus Θ-Φ

N/A


最佳分辨率

0.1 μm

最小光束

2 μm (Knife Edge mode)

更新率

5 Hz real-time (adjustable 2-10 Hz)

M2 测量

Yes - with M2DU-BR accessory

Yes - real-time

定位焦点

Yes - with M2DU-BR accessory

Yes - real-time

指向/发散

Yes - with M2DU-BR accessory

Yes - real-time

开关增益(选项 dB)

32 dB

 

参数

参数值

BeamMap2

Beam'R2

Comments

波长可选范围(nm)

190-1150, 650-1800, 190-1800, 190-2500

Yes

Yes

Si, InGaAs, Si + InGaAs,

被扫描光束直径

2 μm to 4 mm (2 mm for IGA-X.X)

Yes

Yes

Si + InGaAs, extended

X-Y 轮廓及中心分辨率:

0.1 μm 或者 0.05% 的扫描范围

Yes

Yes

 

精度:

± <2% ± ≤0.5μm

Yes

Yes

 

CW or Pulsed

连续/脉冲 最小PRR ≈ [500/(激光直径μm)]kHz

Yes

Yes

 

光束对准准直

± 1 mrad with BeamMap2 ColliMate

Yes

-

 

M2 测量

1 to >20, ± 5%

Yes

-

Beam Dependent

实时更新

5 Hz

Yes

Yes

4 Z-plane hyperbolic fit

最大功率&辐照度

1 W Total & 0.3 mW/μm2

Yes

Yes

Adjustable 2-12 Hz

增益范围:

32dB

Yes

Yes

Metallic film on Sapphire slits

 


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