产品型号：ATLEX-1000-I
品牌名称：德国ATL Lasertechnik
德国ATL Lasertechnik公司专业生产小型化、高重频、紧凑型短脉冲准分子激光器，并在该领域保持技术领先地位。
产品特点：
· 软电晕预电离
· 全固态高压脉冲发生器
· 激光头容积 < 3L
· TMC（全金属陶瓷）管路
· 集成真空泵和卤素过滤器
· 全部风冷，主动热管理
· RS-485、RS232、USB及光纤接口
· 可冲洗光具座
· 能量稳定模式
· 符合欧洲CE标准
· 符合RoHS规范
产品应用：
· 微机械加工
· 激光烧蚀
· 光谱学
· 计量学
产品参数：
|
ATLEX-1000-I 产品参数
|
|
气体介质
|
ArF
|
KrF
|
单位
|
|
波长
|
193
|
248
|
nm
|
|
高压开关技术
|
固态开关
|
|
|
最大脉冲能量1
|
10
|
15
|
mJ
|
|
最大平均功率
|
8
|
10
|
W
|
|
最大重复频率
|
1000
|
Hz
|
|
脉冲宽度2
|
5 – 8
|
ns
|
|
光束尺寸2(V x H)
|
4 x 6
|
mm
|
|
光束发散角2(V x H)
|
1 x 2
|
mrad
|
|
能量稳定性（标准偏差）
|
< 3
|
%
|
|
尺寸（长x宽x高）
|
540 x 470 x 370
|
mm
|
|
重量
|
60
|
kg
|
|
冷却
|
Cooling Air / Optional Liquid
|
|
|
电力需求
|
230 VAC / 10 A / 1 phase / 50-60 Hz
|
|
所有规格均为典型数据，如有因产品改进而更改的，恕不另行通知。
1 在最低重复频率情况下测得： 应用能量稳定模式将会有10%的输出能量损失。
2 典型值，FWHM
|
