产品型号：ATLEX-LR
品牌名称：德国ATL Lasertechnik
ATLEX-LR 系列适合低负荷使用，专门为激光剥蚀(Laser Ablation) 而设计；激光为193nm 输出优化，同时具有非常快的上升沿和高峰值功率。
产品特点：
· 软电晕预电离
· 全固态高压脉冲发生器
· 激光头容积 < 3L
· TMC（全金属陶瓷）管路
· 集成真空泵和卤素过滤器
· 全部风冷，主动热管理
· RS-485、RS232、USB及光纤接口
· 可冲洗光具座
· 能量稳定模式
· 符合欧洲CE标准
· 符合RoHS规范
产品参数：
|
ATLEX-LR产品参数
|
|
气体介质
|
ArF
|
单位
|
|
波长
|
193
|
nm
|
|
最大脉冲能量1
|
12
|
mJ
|
|
能量稳定选项输出
|
10
|
mJ
|
|
脉冲宽度2
|
5
|
ns
|
|
光束尺寸2(V x H)
|
4 x 6
|
mm
|
|
光束发散角2(V x H)
|
1 x 2
|
mrad
|
|
能量稳定性（标准偏差）
|
< 2
|
%
|
|
尺寸（长x宽x高）
|
540 x 470 x 370
|
mm
|
|
重量
|
60
|
kg
|
|
冷却
|
Air
|
|
|
电力需求,
|
230 VAC / 6,3 A / 1 phase / 50-60 Hz
|
|
所有规格均为典型数据，如有因产品改进而更改的，恕不另行通知。
1 在最低重复频率情况下测得： 应用能量稳定模式将会有10%的输出能量损失。
2 典型值，FWHM
|
